康耐德智能晶圓表面光潔度AOI系統(tǒng)是專為晶圓制造行業(yè)設(shè)計的高精度光學成像質(zhì)量檢測解決方案。主要用于晶圓制造過程中拋光、清洗后檢測等關(guān)鍵質(zhì)量控制節(jié)點。

        系統(tǒng)采用高分辨率工業(yè)相機，多角度照明技術(shù)結(jié)合多光譜或偏振光技術(shù)，有效抑制高反射表面的眩光干擾。
        
        能夠適應(yīng)不同材質(zhì)的晶圓，如硅、碳化硅、氮化鎵表面檢測需求，支持微米級缺陷檢測，解決拋光后后的表面顆粒檢測，光刻后光刻膠殘留檢測，如劃痕、顆粒污染、殘留物等。

        基于機器學習的圖像分析算法及深度學習模型，提升檢測精度并降低誤檢、漏檢率。并支持缺陷分類，實時處理高分辨率圖像，快速生成檢測報告，記錄缺陷位置、類型及嚴重程度。
        
        系統(tǒng)的模塊化設(shè)計簡化維護，支持6英寸至12英寸晶圓的全尺寸兼容，可無縫對接半導體自動化設(shè)備，實現(xiàn)無人化高效檢測。

康耐德智能AOI系統(tǒng)通過“高精度光學+AI算法+自動化”的技術(shù)閉環(huán)，為半導體制造提供了高效、可靠的表面檢測系統(tǒng)方案，尤其適合追求高性價比與快速迭代的晶圓自動化廠商。